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六氟乙烷(电子级)

发布时间:2019-08-24 | 游览:192

六氟乙烷工业级和电子级.jpg


六氟乙烷,又称全氟乙烷,是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物,是卤代烃(化学式:C2F6),亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物,是一种不易燃的气体,难溶于水,微溶于醇。

六氟乙烷可用于一种具多功能的蚀刻技术,常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外,它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)。

包装容器:规格齐全,按客户要求配置。